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HORIBA SEC-Z512
所属分类: 10bet十博
点击次数: 244
发布日期: 2017-11-22
  详细介绍

HORIBA SEC-Z512MGX


特征

  • 高精度±1.0% S.P.
    HORIBA MFC包含多项式近似曲线实现线性补偿。此功能实现所有量程上的高精度。为了更真实的反应实际气体精度,HORIBA STEC监测了不同的工艺气体并创建了针对不同气体的校正数据,建立标准气体管理系统,实现真实气体精度确认。
  • 高速响应
    装载“变量PID系统”可实现两设定点之间1秒内快速响应。变量PID基于流量设定点而持续变化。即使满量程或气体更改,也能不会影响PID功能。
  • 多气体,多量程解决方案
    HORIBA的配置软件可简单快速的更改MFC的规格。更好的是MFC的规格改变不需从设备端拆卸。此举有效减少MFC库存需求,极大减少时间和成本的浪费。


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